| 項(xiàng)目 | 描述 | |
| 分辨率 | 二次電子分辨率 |
30kV時(shí)，3.0nm(高真空模式) 3kV時(shí)，10nm(高真空模式) |
| 背散射電子分辨率 | 30kV時(shí)，340nm(低真空模式) | |
| 放大倍率 | ×5-×300，000 | |
| 加速電壓 | 0.3-30KV | |
| 低真空范圍 | 6-270pa圖形菜單 | |
| 圖像移動(dòng) | ±50μm（WD=10mm） | |
| 最大樣品尺寸 | Ф300mm | |
| 樣品臺(tái) | X | 150mm |
| Y | 110mm | |
| Z | 5-65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20°-90° | |
| 觀測(cè)區(qū)域 | Ф203mm（可旋轉(zhuǎn)） | |
| 最大高度 | 110mm（WD=10mm） | |
| 樣品臺(tái)控制 | 計(jì)算機(jī)控制5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)優(yōu)中心 | |
| 電子光學(xué) | 電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 可移動(dòng)式4孔物鏡光闌 | |
| 槍偏壓 | 帶可控4偏壓 | |
| 檢測(cè)器 |
埃弗哈特 索恩利二次電子檢測(cè)器 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子探測(cè)器，五分割 |
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| 分析位置 | WD=10mm 取出角=35° | |
| 顯示器 | 自動(dòng)合軸 | 自動(dòng)設(shè)定束流，自動(dòng)合軸 |
| 自動(dòng)圖像調(diào)整 | 自動(dòng)聚焦，自動(dòng)消像散/聚焦，自動(dòng)調(diào)整亮度和對(duì)比度 | |
| 存儲(chǔ)圖像精度 | 640×480像素，1280×960像素，2560×1920像素，5120×3840像素 | |
| 圖像文件格式 | BMP，TIFF，JPEG | |
| 圖像顯示模式 |
全屏顯示1280×960像素，小屏顯示640×480像素， 雙屏顯示640×480像素×2，信號(hào)混合模式 |
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| 真空系統(tǒng) | 操作 | 全自動(dòng)程序 |
| 渦輪分子泵 | 210L/sec.×1 | |
| 機(jī)械泵 | 135L/min.(162L/min.60Hz)×1 | |
| 安全措施 | 斷電保護(hù)，漏電保護(hù) | |
| 輔助功能 | 光柵旋轉(zhuǎn)，動(dòng)態(tài)消像散 | |
| 動(dòng)態(tài)聚焦/傾斜補(bǔ)償功能 | ||
| 自由排版打印功能，字母/數(shù)字功能 | ||
| 三維動(dòng)畫(huà)維修指南 | ||
| 導(dǎo)航，測(cè)量方便，傾斜畫(huà)面 | ||
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