| 型號(hào) | PDC610 |
| 等離子模式 | RIE/DP（固定模式） |
| 電極構(gòu)造 | 3段獨(dú)立平行平板（固定） |
| 高頻輸出 | Max600W |
| 頻率 | 13.56MHz |
| 控制·顯示方式 | PLC·觸摸屏 |
| 反應(yīng)腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
| 反應(yīng)腔材質(zhì) | A5052 |
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（Ar、O2） |
| 填充氣體 | N2或干燥空氣 |
| 真空泵 | 油泵（約345L/分）·標(biāo)配 |
| 外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
| 外裝材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 電源 | 3相 AC200 50/60Hz 15A |
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