型號

PM100

等離子發(fā)生源

低頻高電壓電源，輸出約100W，周波數(shù)60KHz、輸出電壓10kV

電機構(gòu)造

電容型 2分割

氣體流量計

氧氣用、流量30～300mL/min

真空調(diào)整閥門

抽真空用，回大氣用

反應(yīng)腔尺寸

內(nèi)徑100mm×深度最大約200mm

外形尺寸（寬×深×高mm）

310×300×448

電源 50/60Hz

AC100V 10A（含真空泵Max7A）

真空泵接口

外徑Φ6.35mm（推薦真空泵排氣速度30L/min）

氣體接口

外徑Φ6.35m